Carmanhaas-ის ტელეცენტრული სკანირების ლინზები წარმოადგენს სპეციალურ კონფიგურაციას, რომელშიც ოპტიკის განლაგება შექმნილია სხივის ისე ფოკუსირებისთვის, რომ ის ყოველთვის ბრტყელი ველის პერპენდიკულარულად იყოს მიმართული. ეს განსაკუთრებით მნიშვნელოვანია ბურღვის აპლიკაციებისთვის, როგორიცაა ნახვრეტების ბურღვა დაბეჭდილ მიკროსქემებში, რაც უზრუნველყოფს, რომ გაბურღული ხვრელები ზედაპირის პერპენდიკულარულად იყოს მიმართული, სკანირების ველის ცენტრიდანაც კი. ტელეცენტრული ლინზის გამოყენება ასევე სასარგებლოა შედუღებისა და სტრუქტურირების აპლიკაციებისთვის, რადგან ლაქა მრგვალი რჩება, ველის კიდეების გასწვრივაც კი.
ტელეცენტრული სკანირების ლინზები ყოველთვის მრავალელემენტიანი დიზაინია და მოწოდებულია კორპუსში. ლინზის სულ მცირე ერთი ელემენტი უნდა იყოს სკანირებული ველის ზომაზე დიდი. პრაქტიკაში, ეს ნიშნავს, რომ წარმოებისა და ღირებულების თვალსაზრისით, შესაძლებელია მხოლოდ მცირე ზომის ველის გამოყენება, რაც თავის მხრივ გულისხმობს მოკლე ფოკუსურ მანძილებს. თითოეული კონკრეტული გამოყენება მოითხოვს ამ ტიპის ლინზებისთვის ინდივიდუალურ გადაწყვეტილებებს. დაგვიკავშირდით წინასწარი დიზაინის მისაღებად თქვენი სპეციფიკაციებით და ჩვენ მოგაწვდით ფასს.
(1) მაღალი სიზუსტე, მცირე აწყობის შეცდომა: < 0.05 მმ;
(2) მაღალი გამტარობა: >/=99.8%;
(3) მაღალი დაზიანების ზღვარი: 10 გვტ/სმ2;
(4) დამზადებულია ინდივიდუალური მოთხოვნების შესაბამისად;
（5）დარგში მრავალწლიანი ინოვაციების საფუძველზე შექმნილი მოწინავე შიდა დიზაინი;
(6) პერპენდიკულარული სხივი კრიტიკული გამოყენებისთვის.
355 ნმ ტელეცენტრული F-Theta სკანირების ლინზები
| ნაწილის აღწერა | FL(მმ) | სკანირების ველი (მმ) | მაქსიმალური შესასვლელი გუგის ზომა (მმ) | სამუშაო მანძილი (მმ) | მონტაჟი თემა |
| TSL-355-50-100 | 100 | 50x50 | 7 | 132 | M85x1 |
| TSL-355-50-100 | 100 | 50x50 | 9 | 135 | M85x1 |
| TSL-355-100-170 | 170 | 100x100 | 10 | 224.6 | M85x1 |
| TSL-355-130-250-(15CA) | 250 | 130x130 | 15 | 341.8 | M85x1 |
| TSL-355-175-305-(15CA) | 305 | 175x175 | 15 | 393.8 | 6-M8 |
532 ნმ ტელეცენტრული F-Theta სკანირების ლინზები
| ნაწილის აღწერა | FL(მმ) | სკანირების ველი (მმ) | მაქსიმალური შესასვლელი გუგის ზომა (მმ) | სამუშაო მანძილი (მმ) | მონტაჟი თემა |
| TSL-532-50-100-(15CA) | 100 | 50x50 | 15 | 123.6 | M85x1 |
| TSL-532-165-277-(15CA) | 277 | 165x165 | 15 | 355.8 | M102x1 |
1064nm/1030-1090nm ტელეცენტრული F-Theta სკანირების ლინზები
| ნაწილის აღწერა | FL(მმ) | სკანირების ველი (მმ) | მაქსიმალური შესასვლელი გუგის ზომა (მმ) | სამუშაო მანძილი (მმ) | მონტაჟი თემა |
| TSL-1064-80-130-(14CA) | 131.5 | 80x80 | 14 | 158.7 | M85x1 |
| TSL-(1030-1090)-45-100-(14CA) | 100 | 45x45 | 14 | 137 | M85x1 |
| TSL-(1030-1090)-60-120-(15CA) | 120 | 60x60 | 15 | 162 | M85x1 |
| TSL-(1030-1090)-85-170-(20CA) | 170 | 85x85 | 20 | 215.5 | M85x1 |
