Carmanhaas Telecentric სკანირების ლინზები არის სპეციალური კონფიგურაცია, რომელშიც ოპტიკის განლაგება შექმნილია სხივის ფოკუსირებისთვის ისე, რომ ის ყოველთვის იყოს პერპენდიკულარული ბრტყელი ველის მიმართ. ეს განსაკუთრებით მნიშვნელოვანია საბურღი აპლიკაციებისთვის, როგორიცაა ნაბეჭდი მიკროსქემის დაფებზე ხვრელების ბურღვა, იმის უზრუნველსაყოფად, რომ გაბურღული ხვრელები ზედაპირის პერპენდიკულარულია სკანირების ველის ცენტრიდანაც კი. შედუღებისა და სტრუქტურირების აპლიკაციებს ასევე შეუძლია ისარგებლოს ტელეცენტრული ლინზების გამოყენებით, რადგან ლაქა მრგვალი რჩება, თუნდაც მინდვრის კიდეების გასწვრივ.
ტელეცენტრული სკანირების ლინზები ყოველთვის მრავალელემენტიანი დიზაინისაა და მიეწოდება კორპუსში. მინიმუმ ერთი ლინზის ელემენტი იქნება უფრო დიდი ვიდრე დასასკანირებელი ველის ზომა. პრაქტიკაში, ეს ნიშნავს, რომ წარმოებისა და ღირებულების მიზეზების გამო, შესაძლებელია მხოლოდ მცირე ზომის ველი, რაც თავის მხრივ გულისხმობს მოკლე ფოკუსურ მანძილებს. თითოეული კონკრეტული აპლიკაცია მოითხოვს პერსონალურ გადაწყვეტილებებს ამ ტიპის ლინზებისთვის. დაგვიკავშირდით თქვენი სპეციფიკაციებით წინასწარი დიზაინისთვის და ჩვენ შემოგთავაზებთ ციტატს.
(1) მაღალი სიზუსტე, მცირე შეკრების შეცდომა: < 0.05 მმ;
(2) მაღალი გამტარობა: >/=99.8% ；
(3) დაზიანების მაღალი ბარიერი: 10 GW/cm2;
(4) დამზადებულია საბაჟო მოთხოვნების შესაბამისად;
(5) გაფართოებული შიდა დიზაინი, დაფუძნებული წლების ინოვაციებზე ამ სფეროში;
(6) პერპენდიკულური სხივი კრიტიკული გამოყენებისთვის.
355 ნმ ტელეცენტრული F-Theta სკანირების ლინზები
| ნაწილის აღწერა | FL (მმ) | სკანირების ველი (მმ) | მაქსიმალური შესასვლელი მოსწავლე (მმ) | სამუშაო მანძილი (მმ) | მონტაჟი ძაფი |
| TSL-355-50-100 | 100 | 50x50 | 7 | 132 | M85x1 |
| TSL-355-50-100 | 100 | 50x50 | 9 | 135 | M85x1 |
| TSL-355-100-170 | 170 | 100x100 | 10 | 224.6 | M85x1 |
| TSL-355-130-250-(15CA) | 250 | 130x130 | 15 | 341.8 | M85x1 |
| TSL-355-175-305-(15CA) | 305 | 175x175 | 15 | 393.8 | 6-M8 |
532 ნმ ტელეცენტრული F-Theta სკანირების ლინზები
| ნაწილის აღწერა | FL (მმ) | სკანირების ველი (მმ) | მაქსიმალური შესასვლელი მოსწავლე (მმ) | სამუშაო მანძილი (მმ) | მონტაჟი ძაფი |
| TSL-532-50-100-(15CA) | 100 | 50x50 | 15 | 123.6 | M85x1 |
| TSL-532-165-277-(15CA) | 277 | 165x165 | 15 | 355.8 | M102x1 |
1064nm/1030-1090nm Telecentric F-Theta Scan ლინზები
| ნაწილის აღწერა | FL (მმ) | სკანირების ველი (მმ) | მაქსიმალური შესასვლელი მოსწავლე (მმ) | სამუშაო მანძილი (მმ) | მონტაჟი ძაფი |
| TSL-1064-80-130-(14CA) | 131.5 | 80x80 | 14 | 158.7 | M85x1 |
| TSL-(1030-1090)-45-100-(14CA) | 100 | 45x45 | 14 | 137 | M85x1 |
| TSL-(1030-1090)-60-120-(15CA) | 120 | 60x60 | 15 | 162 | M85x1 |
| TSL-(1030-1090)-85-170-(20CA) | 170 | 85x85 | 20 | 215.5 | M85x1 |
