დინამიური სკანირების ოპტიკური სისტემის ოპტიკა: 1 ცალი მცირე ფოკუსირების ობიექტივი, 1-2 ცალი ფოკუსირების ობიექტივი, Galvo სარკე. მთელი ოპტიკური ობიექტივი ქმნის სხივის გაფართოების, ფოკუსირებისა და სხივის გადახრისა და სკანირების ფუნქციას.
გაფართოების ნაწილი არის ნეგატიური ობიექტივი, ანუ მცირე ფოკუსირების ობიექტივი, რომელიც ახორციელებს სხივის გაფართოებას და მოძრავ ზუმს, ფოკუსირებადი ობიექტივი შედგება დადებითი ლინზების ჯგუფისგან.გალვო სარკე არის სარკე გალვანომეტრის სისტემაში.
(1) ლინზების დიზაინის ოპტიმიზაცია: დიამეტრისა და სისქის თანაფარდობის ოპტიმალური თანაფარდობა
(2) ლინზის დაზიანების მაღალი ბარიერი:>30J/cm2 10ns
(3) ულტრა დაბალი შთანთქმის საფარი, შთანთქმის სიჩქარე:<20ppm
(4) გალვანომეტრის სისქის თანაფარდობა დიამეტრთან: 1:35
(5) ლინზის ზედაპირის სიზუსტე:<= λ/5
პოსტ-ობიექტური ობიექტივი
| მაქსიმალური შესასვლელი მოსწავლე (მმ) | ოპტიკა 1 დიამეტრი (მმ) | ოპტიკა 2 დიამეტრი (მმ) | ოპტიკა 3 დიამეტრი (მმ) | სკანირების ველი (მმ) | წმინდა დიაფრაგმა სკანერი (მმ) | ტალღის სიგრძე |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6 მმ |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 ნმ |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 ნმ |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 ნმ |
რეფლექტორი სარკე
| ნაწილის აღწერა | დიამეტრი (მმ) | სისქე (მმ) | მასალა | საფარი |
| სილიკონის რეფლექტორი | 25.4 | 3 | სილიკონი | HR@10.6um,AOI: 45° |
| სილიკონის რეფლექტორი | 30 | 4 | სილიკონი | HR@10.6um,AOI: 45° |
| ბოჭკოვანი რეფლექტორი | 25.4 | 6.35 | შერწყმული სილიციუმი | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| ბოჭკოვანი რეფლექტორი | 30 | 5 | შერწყმული სილიციუმი | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| ბოჭკოვანი რეფლექტორი | 50 | 10 | შერწყმული სილიციუმი | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| 532 რეფლექტორი | 25.4 | 6 | შერწყმული სილიციუმი | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 რეფლექტორი | 25.4 | 6.35 | შერწყმული სილიციუმი | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 რეფლექტორი | 30 | 5 | შერწყმული სილიციუმი | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 რეფლექტორი | 50 | 10 | შერწყმული სილიციუმი | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 რეფლექტორი | 25.4 | 6 | შერწყმული სილიციუმი | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 რეფლექტორი | 25.4 | 6.35 | შერწყმული სილიციუმი | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 რეფლექტორი | 25.4 | 10 | შერწყმული სილიციუმი | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 რეფლექტორი | 30 | 5 | შერწყმული სილიციუმი | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
გალვოს სარკე
| ნაწილის აღწერა | მაქსიმალური შესასვლელი მოსწავლე (მმ) | მასალა | საფარი | ტალღის სიგრძე |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | სილიკონი | MMR@10.6um | 10.6 მმ |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | შერწყმული სილიციუმი | HR@1030-1090nm | 1030-1090 ნმ |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | შერწყმული სილიციუმი | HR@532nm | 532 ნმ |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | შერწყმული სილიციუმი | HR@355nm | 355 ნმ |
დამცავი ობიექტივი
| დიამეტრი (მმ) | სისქე (მმ) | მასალა | საფარი |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
