ლაზერული ოპტიკური ოპტიკა ძალიან პოპულარულია რბილ და ძალიან თხელ დაბეჭდილ ფირფიტებში. ლაზერის გამოყენებაა Ag პანელის გრავირებისთვის, ის მოითხოვს სხივის ზომის დამატებით ერთგვაროვნებას და ძალიან ვიწრო თერმული დარტყმის არეალს. Ftheta-ს დიზაინი და საფარი რთული იქნება.
Carmanhaas გთავაზობთ პროფესიონალურ ლაზერული გრავირების ოპტიკას. ოპტიკური კომპონენტები ძირითადად ეხება ოპტიკურ კომპონენტებს, რომლებიც გამოიყენება მიკროსქემის დაფების გრავირებაში. ეს ოპტიკური სისტემები, როგორც წესი, შედგება გალვანომეტრიული სკანირების სისტემებისგან, მათ შორის სხივის გამაფართოებლების, გალვანომეტრების და F-THETA სკანირების ლინზებისგან.
(1) ლინზის ზედაპირის სიზუსტე < λ/5, ობიექტივის ლინზის აწყობის სქემა საჭიროა ლაქის სიმაღლის თანმიმდევრულობის უზრუნველსაყოფად;
(2) სრული ფორმატის ფოკუსირებული ლაქის თანმიმდევრულობა >95%;
(3) ფოკალური სიბრტყის კონსისტენცია <0.5 მმ;
(4) ფორმატის ფოკუსური მანძილის თანაფარდობა >1.05.
1064nm F-Theta ლინზა
| ნაწილის აღწერა | ფოკუსური მანძილი (მმ) | სკანირების ველი (მმ) | მაქსიმალური შესასვლელი გუგის ზომა (მმ) | სამუშაო მანძილი (მმ) | მონტაჟი თემა |
| SL-1064-140-200 | 200 | 140x140 | 14 | 208 | M85x1 |
| SL-1064-185-255-(16CA) | 255 | 185x185 | 16 | 274 | M85x1 |
1064 ნმ სხივის გამაფართოებელი
| ნაწილის აღწერა | გაფართოება თანაფარდობა | შეყვანის CA (მმ) | გამომავალი CA (მმ) | კორპუსის დიამეტრი (მმ) | საცხოვრებელი სიგრძე (მმ) | მონტაჟი თემა |
| BE-1064-D23:40.5-1.5x | 1.5X | 10 | 20.7 | 27 | 40.5 | M22*0.75 |
| BE4-(1030-1090)-D35:163.9-Z14x | 1X-4X | 20 | 35 | 44 | 163.9 | / |
| BE4-(1030-1090)-D34:162.6-Z210x | 2X-10X | 14 | 34 | 40 | 162.6 | / |
1064 ნმ სარკე
| დიამეტრი (მმ) | სისქე (მმ) | საფარი |
| 25.4 | 6.35 | HR@1030-1090nm, 45° AOI |
| 30 | 5 | HR@1030-1090nm, 45° AOI |
| 50 | 10 | HR@1030-1090nm, 45° AOI |
