ლაზერული ოპტიკური ოპტიკა ძალიან პოპულარულია რბილი და ვახშმის თხელი PCB- ში. ლაზერის გამოყენება არის Ag etching– ის პანელისთვის, ის ითხოვს ვახშმის ჰომოგენურობას სხივის ზომისა და ძალიან ვიწრო თერმული მიბაძვის არეალში. FTHETA იქნება რთული დიზაინი და საფარი.
Carmanhaas გთავაზობთ პროფესიონალურ ლაზერულ etching ოპტიკას. ოპტიკური კომპონენტები ძირითადად ეხება ოპტიკურ კომპონენტებს, რომლებიც გამოიყენება მიკროსქემის დაფაში. ეს ოპტიკური სისტემები ზოგადად შედგება გალვანომეტრის სკანირების სისტემებისგან, მათ შორის სხივის გაფართოება, გალვანომეტრები და F-Theta სკანირების ობიექტივი.
(1) ლინზების ზედაპირის სიზუსტე <λ/5, ობიექტური ობიექტივის ასამბლეის სქემაა საჭირო, რომ ლაქის სიმაღლე იყოს თანმიმდევრული;
(2) სრულად ფორმატის ფოკუსირებული ლაქის თანმიმდევრულობა> 95%;
(3) ფოკალური თვითმფრინავის თანმიმდევრულობა <0.5 მმ;
(4) ფორმატის ფოკალური სიგრძის თანაფარდობა> 1.05.
1064NM F-THETA ობიექტივი
| ნაწილის აღწერა | ფოკალური სიგრძე (მმ) | სკანირების ველი (მმ) | მაქსიმალური შესასვლელი მოსწავლე (მმ) | სამუშაო მანძილი (მმ) | დამონტაჟება ძაფი |
| SL-1064-140-200 | 200 | 140x140 | 14 | 208 | M85x1 |
| SL-1064-185-255- (16CA) | 255 | 185x185 | 16 | 274 | M85x1 |
1064NM სხივი
| ნაწილის აღწერა | ექსპანსია პროპორცია | შეყვანა CA (მმ) | გამომავალი CA (მმ) | საბინაო დია (მმ) | სათავსო სიგრძე (მმ) | დამონტაჟება ძაფი |
| BE-1064-D23: 40.5-1.5x | 1.5x | 10 | 20.7 | 27 | 40.5 | M22*0.75 |
| BE4- (1030-1090) -D35: 163.9-Z14X | 1x-4x | 20 | 35 | 44 | 163.9 | / |
| BE4- (1030-1090) -D34: 162.6-Z210X | 2x-10x | 14 | 34 | 40 | 162.6 | / |
1064NM სარკე
| დიამეტრი (მმ) | სისქე (მმ) | საფარი |
| 25.4 | 6.35 | HR@1030-1090NM, 45 ° AOI |
| 30 | 5 | HR@1030-1090NM, 45 ° AOI |
| 50 | 10 | HR@1030-1090NM, 45 ° AOI |
