Carmanhaas- ის სარკეები ან მთლიანი რეფლექტორები გამოიყენება ლაზერული ღრუსებში, როგორც უკანა რეფლექტორები და დასაკეცი სარკეები, ხოლო გარედან, როგორც სხივის მომატება სხივის მიწოდების სისტემებში.
სილიკონი არის ყველაზე ხშირად გამოყენებული სარკის სუბსტრატი; მისი უპირატესობა არის დაბალი ღირებულება, კარგი გამძლეობა და თერმული სტაბილურობა.
Molybdenum Mirror უკიდურესად მკაცრი ზედაპირი მას იდეალურ ხდის ყველაზე მოთხოვნადი ფიზიკური გარემოსთვის. Mo Mirror ჩვეულებრივ სთავაზობენ არაკონტროლირებას.
სპეციფიკაციები | სტანდარტები |
განზომილებიანი ტოლერანტობა | +0.000 ” / -0.005” |
სისქის ტოლერანტობა | ± 0.010 ” |
პარალელიზმი: (პლანო) | ≤ 3 რკალის წუთი |
მკაფიო დიაფრაგმა (გაპრიალებული) | დიამეტრის 90% |
ზედაპირის ფიგურა @ 0.63um | ძალა: 2 ფრაგმენტი, დარღვევები: 1 ფრაგმენტი |
ნაკაწრი-დიგი | 10-5 |
პროდუქტის სახელი | დიამეტრი (მმ) | ET (მმ) | საფარი |
Mo Mirror | 30 | 3/6 | არ არის საფარი, AOI: 45 ° |
50.8 | 5.08 | ||
სილიკონის სარკე | 30 | 3/4 | HR@106um, aoi: 45 ° |
38.1 | 4/8 | ||
50.8 | 9.525 |