კარმანჰაასის სარკეები ან სრული ამრეკლავები გამოიყენება ლაზერულ ღრუებში უკანა ამრეკლავებად და დასაკეცი სარკეებად, ხოლო გარედან - სხივის მომღუნველებად სხივის მიწოდების სისტემებში.
სილიციუმი ყველაზე ხშირად გამოყენებული სარკისებრი სუბსტრატია; მისი უპირატესობებია დაბალი ფასი, კარგი გამძლეობა და თერმული სტაბილურობა.
მოლიბდენის სარკის უკიდურესად გამძლე ზედაპირი მას იდეალურს ხდის ყველაზე მომთხოვნი ფიზიკური გარემოსთვის. Mo სარკე, როგორც წესი, დაფარული არ არის.
სპეციფიკაციები | სტანდარტები |
განზომილებიანი ტოლერანტობა | +0.000” / -0.005” |
სისქის ტოლერანტობა | ±0.010” |
პარალელიზმი: (პლანო) | ≤ 3 რკალური წუთი |
გამჭვირვალე დიაფრაგმა (გაპრიალებული) | დიამეტრის 90% |
ზედაპირის ფიგურა @ 0.63um | სიმძლავრე: 2 ზოლი, უსწორმასწორობა: 1 ზოლი |
ნულიდან თხრა | 10-5 |
პროდუქტის დასახელება | დიამეტრი (მმ) | აღმოსავლეთის დაშორება (მმ) | საფარი |
მო სარკე | 30 | 3/6 | საფარის გარეშე, AOI: 45° |
50.8 | 5.08 | ||
სილიკონის სარკე | 30 | 3/4 | HR@106um, AOI:45° |
38.1 | 4/8 | ||
50.8 | 9.525 |